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AZO旋轉(zhuǎn)靶/平面靶

AZO旋轉(zhuǎn)靶/平面靶


產(chǎn)品介紹

AZO靶材是鋅鋁氧化物功能陶瓷材料,主要用于磁控濺射制備AZO透明導(dǎo)電薄膜。以等離子體為熱源將相應(yīng)粉末加熱到熔融或半熔融狀態(tài)并高速?zèng)_擊背管表面形成致密涂層,從而制備出高純度、高致密度AZO靶材。


應(yīng)用領(lǐng)域

薄膜太陽(yáng)能電池

Low-E鍍膜玻璃

汽車(chē)鍍膜玻璃


產(chǎn)品特點(diǎn)

密度高,成膜質(zhì)量好。

使用功率高,約13kW/m。

濺射速率、使用效率比同類(lèi)產(chǎn)品高。



參數(shù)規(guī)格

組份(wt%)ZnO:Al2O3=98:2
純度(%)≥99.95
密度(g/cm3)≥5.1
靶材尺寸

靶材外徑 Φ151-160mm

鋼管直徑 OD133/ID125mm

長(zhǎng)度 ≤4m

可按圖紙要求加工




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