AZO旋轉(zhuǎn)靶/平面靶
產(chǎn)品介紹
AZO靶材是鋅鋁氧化物功能陶瓷材料,主要用于磁控濺射制備AZO透明導(dǎo)電薄膜。以等離子體為熱源將相應(yīng)粉末加熱到熔融或半熔融狀態(tài)并高速?zèng)_擊背管表面形成致密涂層,從而制備出高純度、高致密度AZO靶材。
應(yīng)用領(lǐng)域
薄膜太陽(yáng)能電池
Low-E鍍膜玻璃
汽車(chē)鍍膜玻璃
產(chǎn)品特點(diǎn)
密度高,成膜質(zhì)量好。
使用功率高,約13kW/m。
濺射速率、使用效率比同類(lèi)產(chǎn)品高。