TZO靶材
產(chǎn)品介紹
以等離子體為熱源將相應(yīng)粉末加熱到熔融或半熔融狀態(tài)并高速沖擊背管表面形成致密涂層，從而制備出高純度、高致密度TZO靶材。
應(yīng)用領(lǐng)域
光學(xué)玻璃AR膜系
Low-E鍍膜玻璃
工具鍍膜和裝飾鍍膜
產(chǎn)品特點(diǎn)
成膜均勻性≤3%
濺射功率約12.5kW/m
濺射速率高，是金屬鋅錫的1.8-2倍
產(chǎn)品中心
參數(shù)規(guī)格
| 組份（wt%） | ZnO:SnO2 52±2:48±2 |
| 純度（%） | ≥99.9 |
| 密度（g/cm3） | ≥5.4 |
| 雜質(zhì)含量 | Al≤200 Si≤200 In≤200 Fe≤30 |
| 雜質(zhì)總和≤1000 | |
| 電阻率（Ω·cm） | ≤0.5 |
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