SiZr旋轉(zhuǎn)靶
產(chǎn)品介紹
以等離子體為熱源將相應(yīng)粉末加熱到熔融或半熔融狀態(tài)并高速沖擊背管表面形成致密涂層，從而制備出高純度、高致密度SiZr靶材。
應(yīng)用領(lǐng)域
Low-E鍍膜玻璃
觸摸屏
顯示器
薄膜光伏
參數(shù)規(guī)格
| 組份（wt%） | Si:Zr=58.5:36.5 |
| 純度（%） | ≥99.9 |
| 密度（g/cm3） | ≥2.87 |
| 電阻率（Ω·cm） | ≤0.5 |
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