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產(chǎn)品系列
導(dǎo)電陶瓷
導(dǎo)電陶瓷為抗靜電材料
,
一體成型不含任何重金屬
,
比傳統(tǒng)
APS
鍵鐵氟龍有更好的質(zhì)量?jī)?yōu)勢(shì)
,
抗靜電壽命更長(zhǎng)
,
沒(méi)有掉粉風(fēng)險(xiǎn)
,
良率更高。尤其在先進(jìn)制程
7
納米以下
,
使用導(dǎo)電陶瓷更是有其必要性。目前在
TSMC
已經(jīng)通過(guò)驗(yàn)證
,
且已正式供資使用。
查看更多
靜電吸盤
我們提供自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的陶瓷靜電吸盤產(chǎn)品
,
可應(yīng)用于真空系統(tǒng)中半導(dǎo)體和非導(dǎo)體
(
硅品國(guó)、玻璃
)
基板的吸附
,
和需要靜電防護(hù)自動(dòng)化、拖遠(yuǎn)的任何場(chǎng)景。
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