氧化鈮靶材
產(chǎn)品介紹
以等離子體為熱源將相應粉末加熱到熔融或半熔融狀態(tài)并高速沖擊背管表面形成致密涂層，從而制備出高純度、高致密度NbOx旋轉靶材。
應用領域
Low-E鍍膜玻璃
薄膜太陽能電池
TFT-LCD
半導體電子
產(chǎn)品中心
參數(shù)規(guī)格
| 組份（wt%） | 氧化鈮 |
| 純度（%） | ≥99.9 |
| 密度（g/cm3） | ≥4.8 |
| 雜質(zhì)含量 | Ta≤200 Si≤80 Al≤30 Cu≤30 Ti≤100 Fe≤80 |
| 雜質(zhì)總和≤1000 | |
| 電阻率（Ω·cm） | ≤0.2 |
| 背管材質(zhì) | 采用304/316L不銹鋼（無磁） |
| 靶材尺寸 | 按照圖紙要求加工 |
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