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導(dǎo)電陶瓷

導(dǎo)電陶瓷


導(dǎo)電陶瓷為抗靜電材料,一體成型不含任何重金屬,比傳統(tǒng)APS鍵鐵氟龍有更好的質(zhì)量優(yōu)勢,抗靜電壽命更長,沒有掉粉風(fēng)險,良率更高。尤其在先進制程7納米以下,使用導(dǎo)電陶瓷更是有其必要性。目前在TSMC已經(jīng)通過驗證,且已正式供資使用。

本產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于芯片和顯示面板制造。

參數(shù)規(guī)格

參數(shù)規(guī)格:

類目

KR1

KR7

KR9

KR11

陶瓷成分

氧化鋁(%

NA

>70

>80

>90


導(dǎo)電成分(%

>90

>10

<10

<10


其他(%

<3

>10

>3

>3

密度(g/cm3

4.1

3.4

3.7

3.7

色調(diào)

Black

Black/Gray

Black/Gray

Black/Gray

抗彎強度(Mpa

300

300

330

330

楊氏模量(Gpa

280

275

358

358

Hv硬度

800

700

1150

1150

泊松比

0.27

0.23

0.24

0.24

熱膨脹系數(shù)(0-800℃)

8.8*10-6

7.5*10-6

7.7*10-6

7.7*10-6

導(dǎo)熱系數(shù)(W/m·k

5.5

15

25

25

體積電阻(Ω·cm

<1*103

1*105~8

1*109~11

1*1010~12

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