ITO旋轉(zhuǎn)靶/平面靶
產(chǎn)品介紹
ITO靶材是銦錫氧化物功能陶瓷材料，主要用于磁控濺射制備ITO透明導(dǎo)電薄膜。采用最先進(jìn)的常壓燒結(jié)工藝，多個(gè)靶管/靶塊拼接貼合為ITO靶材成品。
應(yīng)用領(lǐng)域
導(dǎo)電玻璃
OLED
觸摸屏
太陽能電池
產(chǎn)品中心
參數(shù)規(guī)格
| 組份（wt%） | In2O3:SnO2=90:10 |
| 純度（%） | ≥99.99 |
| 密度（g/cm3） | ≥7.13 |
| 相對密度（%） | ≥99.5 |
| 電阻率（Ω·cm） | ≤1.2*10-4 |
| 靶材尺寸 | 旋轉(zhuǎn)靶每節(jié) 300-600（mm） 平面靶單片 400*400（mm2） 可按圖紙要求加工 |
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