導(dǎo)電陶瓷
導(dǎo)電陶瓷為抗靜電材料,一體成型不含任何重金屬,比傳統(tǒng)APS鍵鐵氟龍有更好的質(zhì)量?jī)?yōu)勢(shì),抗靜電壽命更長(zhǎng),沒有掉粉風(fēng)險(xiǎn),良率更高。尤其在先進(jìn)制程7納米以下,使用導(dǎo)電陶瓷更是有其必要性。目前在TSMC已經(jīng)通過(guò)驗(yàn)證,且已正式供資使用。
本產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于芯片和顯示面板制造。
參數(shù)規(guī)格
參數(shù)規(guī)格：
類目 | KR1 | KR7 | KR9 | KR11 | |
陶瓷成分 | 氧化鋁（%） | NA | >70 | >80 | >90 |
導(dǎo)電成分（%） | >90 | >10 | <10 | <10 | |
其他（%） | <3 | >10 | >3 | >3 | |
密度（g/cm3） | 4.1 | 3.4 | 3.7 | 3.7 | |
色調(diào) | Black | Black/Gray | Black/Gray | Black/Gray | |
抗彎強(qiáng)度（Mpa） | 300 | 300 | 330 | 330 | |
楊氏模量（Gpa） | 280 | 275 | 358 | 358 | |
Hv硬度 | 800 | 700 | 1150 | 1150 | |
泊松比 | 0.27 | 0.23 | 0.24 | 0.24 | |
熱膨脹系數(shù)（0-800℃） | 8.8*10-6 | 7.5*10-6 | 7.7*10-6 | 7.7*10-6 | |
導(dǎo)熱系數(shù)（W/m·k） | 5.5 | 15 | 25 | 25 | |
體積電阻（Ω·cm） | <1*103 | 1*105~8 | 1*109~11 | 1*1010~12 | |
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