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靜電吸盤
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我們提供自主知識產(chǎn)權(quán)的陶瓷靜電吸盤產(chǎn)品,可應(yīng)用于真空系統(tǒng)中半導(dǎo)體和非導(dǎo)體(硅品國、玻璃)基板的吸附,和需要靜電防護(hù)自動化、拖遠(yuǎn)的任何場景。兼客AMATLam Research的設(shè)備


參數(shù)規(guī)格

靜電吸盤結(jié)構(gòu):

                                

7

參數(shù)規(guī)格:

陶瓷材料:

類目

K9

K11

K13

K13G

K14

陶瓷成分(氧化鋁%

-

-

>99.8

>99.5

>99.7

密度(g/cm3

3.7

3.7

>3.9

>3.85

>3.85

吸水率(%

0

0

0

0

0

色調(diào)

-

Dark Gray

Dark Gray

white

white

抗彎強(qiáng)度(Mpa

330

330

350

350

350

楊氏模量(Gpa

358

358

358

370

370

Hv硬度

1150

1150

1500

1500

1500

泊松比

0.24

0.24

0.24

0.24

0.24

熱膨脹系數(shù)(0-800℃)

7.7*10-6

7.7*10-6

7*10-6

7*10-6

7*10-6

導(dǎo)熱系數(shù)(W/m·k

25

25

28

28

28

電阻率(Ω·cm

1*109~10

1*1010~11

1013

1013

1014

絕緣強(qiáng)度(KV/mm

-

-

>10

>10

>10

電極層材料:

項(xiàng)目

電極膏B-1

電極膏B-2

電極膏B-3

金屬種類(%

100W

100W

100W

鎢純度(%

100

97

87

無機(jī)物比例(%

82±3

82±3

82±3

燒結(jié)環(huán)境

保護(hù)氣氛

保護(hù)氣氛

保護(hù)氣氛

特性

較低電阻率

低表面收縮率

相較低溫?zé)Y(jié)

電阻率(Ω·cm

0.1

0.5

≤1.5

貼合材料:

類目

貼合材料C-1

貼合材料C-2

特性

有機(jī)介質(zhì)

無機(jī)介質(zhì)

貼合操作環(huán)境

室溫真空

高溫

適用工作溫度

200

900


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